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標識牌制腐蝕工藝有以下步驟
一、標識牌去層:
1. 堿洗去層:在反響容器中制造 20-40%的氫氧化鈉溶液為腐蝕溶液,將標識牌參加堿鍋里進行腐蝕,依據標識牌的結深斷定腐蝕時刻,一般為30---120秒。用漏勺撈起看硅料外表是否亮光無雜質。
2. 沖刷殘堿:在沖刷槽中將標識牌上附著的殘堿沖刷潔凈。
3. 超聲波超洗:在超聲波內注入足量純凈水以可以淹沒標識牌為準;將 10-15 千克的標識牌用純凈水沖凈,倒入清洗槽內,翻開超聲機清洗開關,每10分鐘將標識牌悉數翻動一次,防止疊片時攙雜雜質,無法清洗出來。清洗 20 分鐘換兩次水后封閉超聲清洗開關,將槽內清洗水放盡;用高純水再超兩次(每次 10 分鐘),每3分鐘將標識牌翻動一次,最終封閉超聲波開關,放盡清洗水,翻動標識牌,將雜質和殘留標識牌上的清洗水沖盡;氫氟酸浸泡:在浸泡池中裝備15%~ 25%的氫氟酸溶液,將標識牌放入浸泡池內浸泡 5-6 分鐘,并拌和標識牌防止疊片。或用1:15-1:20 的混酸進行清洗30S 左右;沖刷殘酸:在沖刷槽中將標識牌殘酸沖刷潔凈;
4. 超聲波清洗:
A、在超聲波內注入足量純凈水以可以淹沒標識牌為準。
B、將 10-15 千克的標識牌用純凈水沖凈,倒入清洗水槽內,翻開清洗開關,每 10 分鐘
將標識牌悉數翻動一次, 防止疊片時攙雜雜質, 無法清洗出來。 超聲時刻按車間具體規定履行。
C、用高純水沖刷標識牌,將殘留雜質沖凈。
D、用高純水沖刷將雜質和殘留標識牌上的清洗水沖盡。
E、脫水:用紗網,每次放標識牌 5-6 千克到脫水機中脫水 2 分鐘。
F、沖刷:將標識牌放入沖刷槽中沖洗并拌和。
G、烘干:將標識牌放入花籃中,堆積厚度小于2厘米,并將標識牌用塑料棒劃通氣縫。烘箱溫度調至 115℃,烘干 2~4 小時。
二、標識牌浸泡:
1. 濕法蝕刻工藝:將標識牌倒入浸泡池中,體積不超越浸泡池的 2/3 。在浸泡池中倒入腐蝕溶液。腐蝕溶液為氫氟酸 49-59%的工業純刻蝕溶液,浸泡 12 小時后,放出酸液,將硅
片沖刷潔凈。
2.去除金屬沾污:制造王水溶液,依據氣溫變化稀釋至 30-50%的濃度,浸泡 12 小時后,放出酸液,將標識牌沖刷潔凈。
3.二次濕法蝕刻工藝:將標識牌倒入浸泡池中,體積不超越浸泡池的2/3。在浸泡池中倒入腐蝕溶液。腐蝕溶液配比為 HF:NH4F=(6-10)工業氫氟酸,浸泡: 112 小時后,放出
酸液,將標識牌沖刷潔凈。